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THIEME Siebdruckanlage zur wirtschaftlichen Bedruckung von Silizium-Wafern |
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| Steuerung | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Beladesystem/Waferhandling | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Druckwerk | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Drucktisch/Drucknest | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Kontrollsysteme | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pastenzuführung | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Durchlauftrockner | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Die vollautomatische THIEME Siebdruckanlage, zur sanften Bedruckung von Silizium-Wafern, ist als Rundtaktanlage mit speziell entwickelten Drucknestern konzipiert. Angepasste Materialtransportsysteme, integrierte Qualitätskontrollen und eine effektive Trocknung der Pasten sorgen für einen wirtschaftlichen Prozessablauf.
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Das Anlagenkonzept sorgt für eine minimale Belastung der Wafer durch eine sanfte Bedruckung und einen schonenden Materialtransport |
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Herr Klaus Meßmer, Tel. + 49 (0) 76 41 / 58 3-524 |
| Steuerung Jede Druckstation verfügt über eine zentrale Bedieneinheit für die einzelnen Anlagekomponenten: • Beladesystem • Druckstation • Kontrollsysteme • Trockner Die Klartext Fehleranzeige sorgt für eine optimale Übersicht. Speicherbare Parameter sowie die Möglichkeit der Online-Fehlerdiagnose runden die Bedienerfreundlichkeit ab. |
| Beladesystem/Waferhandling Das Beladesystem ist je nach Kundenwunsch entweder für eine Carrier- oder Boxenentnahme ausgelegt. Die integrierte Bruchkontrolle in der Beladeeinheit stellt sicher, dass jeweils zwei unbeschädigte Wafer auf das Drucknest abgelegt werden. Das Belade-Handling in Verbindung mit einem Kamerasystem sorgt für die positionsgenaue Übergabe der Wafer auf den Drucktisch. |
| Druckwerk Leistungsmerkmale des Druckwerks: • absolute Reproduzierbarkeit der Druckparameter • selbstjustierendes Rakelsystem • große Prozessfenster für die jeweiligen Druckparameter • geringe mechanische Belastung der Wafer Einfache Bedienung und kurze Rüstzeiten durch: • Siebwechsel ohne Rakelentnahme • automatische Siebpositionierung mittels Kamerasystem • Rakel Schnellspannsysteme • selbstjustierendes Druckrakel • sehr gute Zugänglichkeit zur Siebunterseite durch Reinigungsposition des Druckwerkes |
| Drucktisch/Drucknest Das speziell konzipierte Drucknest ist mit einer Papierauflage ausgestattet, welche für einen stets sauberen Drucktisch sorgt. Des weiteren kann die Papierauflage zum Andruck verwendet werden, wodurch sich der Wafer- Ausschuss verringert. Durch den Papiervorschub wird ein schonender Wafer-Transport an die Folgeeinheit sichergestellt. |
| Kontrollsysteme Anhand Hinterleuchtung des Drucknestes wird die Bruchkontrolle der Wafer durchgeführt und gleichzeitig findet mittels Auflicht die Druckkontrolle statt. Die als schlecht erkannten Teile werden beim Austransport sofort ausgesondert. Des weiteren wird das Drucknest auf Verschmutzung überprüft und zur Wiederbeladung freigegeben. Im Falle einer Verschmutzung wird automatisch über den Papiervorschub eine saubere Tischfläche bereitgestellt. Der gesamte Kontrollvorgang hat keinen Einfluss auf die Zykluszeit der Druckstation. |
| Pastenzuführung Durch den Einsatz einer automatischen Pastenzuführung wird ein gleichbleibendes Pastenniveau in der Druckschablone gehalten und die Autonomiezeit der Druckanlage deutlich verbessert. Die Zuführsysteme sind für einen optimalen Prozessablauf den Druckpasten entsprechend angepasst. |
| Durchlauftrockner Warmluft- und IR-Strahlung sorgen für eine schnelle und gründliche Trocknung im Durchlauf. Durch den Einsatz eines Durchlauftrocknerkonzepts wird jegliches zusätzliche Handling eliminiert und die Bruchgefahr auf ein Minimum reduziert. |